Пещ PECVD

1.Тип: 1200 градуса плъзгаща се двузонова PECVD система
2. Номер на фазата: монофазна
3.Тип термодвойка: тип K
4.Модел:TOB-DSP-1200 степен -PECVD
5.MOQ: 1 комплект

Изпрати запитване

Чат сега

представяне на продукта

Двузонова PECVD система с плъзгач от 1200 градуса

Спецификация

Модел	TOB-DSP-1200 степен -ПЕКВД-И	TOB-DSP-1200 степен -ПЕКВД-ІІ		TOB-DSP-1200 степен -PECVD-III	TOB-DSP-1200 степен -ПЕКВД-IV
Мощност	3КВ	3KW		4КВ	4КВ
Размер на тръбата на пещта (mm)	Диаметър 60(OD) X1800 мм	Диаметър 80(OD) X1800mm		Диаметър 100(OD) X1800 мм	Диаметър 120(OD) X1800 мм
Измерение	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Захранващо напрежение	220V
Номер на фаза	Монофазни
Режим на управление	Юдиан контрол на температурата 30 секции могат да използват само PID регулиране на температурата. FP93 контрол на температурата (от Япония) (Заменете внесени инструменти, срещу допълнителна такса) 1,40 секционна програма за контрол на температурата може да бъде разделена на 4,2,1 групова програма, ако програмата е разделена на четири групи, всеки програмен сегмент 10, 2,6 група PID контрол, ниска, средна и висока температура могат да имат набор от PID, така че всеки сегмент да може да контролира температурата е много точен.
Режим на контрол на температурата	Интелигентен PID
Защита от прегаряне и дисплей	да
Защита от прегряване	да
Защита от свръхток	да
Контролна точност	+/- 1 степен
Тригер	Тригер за фазово изместване
SCR	106 / 16E Германия Симон Канг
Максималната температура на температурната зона 1.2	1200 градуса
Температурна зона 1.2 Номинална температура	1150 градуса
Скорост на нагряване	По-малко или равно на 30 градуса/мин (предлага се при заявка за модификация)
Препоръчителна скорост на нагряване	По-малко или равно на 15 градуса/мин
Тип термодвойка	К тип
Дължината на нагряване на температурната зона 1.2	205 мм
Температура на околната повърхност	По-малко или равно на 45 градуса
Плазмена RF мощност	Диапазон на изходната мощност		0-500W
	Максимална отразена мощност		10W
	Честота на сигнала		13,56 MHZ ± 0,005%
	Шум		<30 dB
	Въздушно охлаждане		метод на охлаждане
	Входяща мощност		208-240V 50 / 60 HZ
Основни параметри на захранващата система GX	Стандартен диапазон		Контролер на потока Proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (можете да изберете произволен мащаб)
	точност		± 1.5%
	Спад на налягането		<0.01MPa
	Повторяемост		± 0.2% F.S
	Макс Работно налягане		3MP
VS-0.1 изпускателна система	захранване		220V / 380V 380W
	Скорост на изпомпване		2L / S
	Съпротивителен вакуумметър		ЗДР-И
	Обхват на измерване на вакуум		0.1-10 5 Па
	Вакуумна помпа		VRD-8
	Гофрирана тръба		KF25X1000 мм
	Вакуумна система		10 -1Па